スキャナのクロストークを除去することで正確なXYスキャン

独立閉ループXYおよびZフレキシブルスキャナ

直交XYスキャン

サンプルの表面形態情報の測定は正確で、ソフトウェア処理を必要としない

包括的で専門的な原子間力顕微鏡ソリューション

複数種類の走査プローブ顕微鏡を含む走査モード

よりインテリジェントなNX電子制御装置はデフォルトで高度なナノ機械測定モードを有効にしている

業界最先端の互換性とアップグレード性

人間的に設計されたソフトウェアとハードウェアの機能

サンプルや針交換のためのオープンな使用に便利

プリアライメントされたプローブクランプ設計により、容易に直感的に行うことができるSLD光較正

Park SmrtScanTM-原子間力顕微鏡操作ソフトウェアを使用することで、初めてのユーザーとプロのユーザーの操作を支援 専門的なナノレベルの研究を行う。

なし結合関係のXYおよびZスキャナ

Parkのコア技術は、独自のスキャナアーキテクチャにある。独立したXYスキャナーとZスキャナーに基づいて設計されたフレキシブル構造により、高精度のナノスケール解像度データを簡単に得ることができます。

業界をリードする低騒音Z検出器

Park AFMは低騒音Z検出器を搭載し、騒音レベルは0.02 nm未満であるため、サンプルの形態イメージングの正確さを達成し、エッジのオーバーシュートがなくて較正が必要ない高効率を達成した。Park NXシリーズは、高精度なデータを提供するだけでなく、時間コストを大幅に削減します。

低ノイズZ検出器による正確なサンプル形態の測定

低雑音を利用するZ検出器信号による形態イメージング

高ブロードバンドがあり、Z検出器の低雑音はわずか0.02 nm

エッジ位置にフロントエッジまたはバックエッジオーバーシュート現象がない

元の工場で一度校正するだけで

サンプル: 1.2μm標準段差高さ
(9 μm x 1 μm, 2048 pixels x 128 lines)

Park NX 7パラメータ

Scanner

Zスキャナ

フレキシブルブート高推力スキャナ
Zスキャン範囲：15μm（30μmオプション）

XYスキャナ

閉ループ制御式シングルモジュールフレキシブルXYスキャナ
そうさはんい:50 µm × 50 µm
（オプションで10μm×10μmまたは100μm×100μm）

シフトテーブル

Zシフトテーブル

Zシフトテーブルストローク範囲: 26 mm

XY変位テーブル

XY変位テーブルストローク範囲: 13 mm X 13 mm

サンプルラック

サンプルサイズ : up to 50 mm
サンプル厚さ:up to 20 mm

ソフトウェア

SmartScan

AFMシステム制御およびデータ収集ソフトウェア
スマートモードの高速設定と簡易イメージング
手動モードの高度な使用とより精密なスキャン制御

SmartAnalysis

AFMデータ解析ソフトウェア
独立した設計-AFM以外のデータのインストールと分析が可能
収集データを生成できる3 D描画